本发明属于高纯氢能生产系统的技术领域，具体涉及一种利用三氟化氮生产的废气回收高纯氢能的系统和方法。所述的利用三氟化氮副产回收高纯氢能的系统，包括膜分离装置、脱氧反应器和PSA单元；缓冲罐与压缩机一连接，压缩机一与压缩机二连接，压缩机二与换热器连接，换热器与分液罐连接，分液罐与膜分离装置连接，膜分离装置与压缩机三连接，压缩机三与气体冷却器连接，气体冷却器与脱氧反应器连接，脱氧反应器与PSA单元连接，PSA单元与吸附除杂装置连接，吸附除杂装置与压缩机四连接；压缩机一与压缩机二之间管线与脱氧反应器连接。本实用新型提供一种利用三氟化氮副产回收高纯氢能的系统，氢气回收纯度达99.999％以上，成本低。

“氢气回收是指把工业生产过程中排出的氢气进行除尘、除油、除氧、除水等处理，使氢气质量重新达到生产要求，二次循环使用的系统统称。” 

氯化氢和氢气,但最主要的还是氢气,所以还 原炉的尾气回收又称为“氢气回收”,简称为“氢回收”。