氢回收有哪几种？

在多晶硅生产中,有湿法和干法回收两种。湿法就是使还原炉的尾气进人淋洗塔,使尾气中的氯化氢和残留的二氯二氢硅、三氣 氢硅、四氣化硅等与水接触,发生化学反应,生成二氧化硅和盐酸。二氧化硅和盐酸的密度大,所以留在淋洗塔的下面,而氢气密度小,独自向上顺管路进入氢气净化系统,经过净化合格后,再经过加压,进人还原工序再次使用。

是根据氣硅烷能够吸收氯化氢的现象发明的。尾气与氣硅烷接触,让氯硅烷吸收尾气中的氯化氢,也就是使其留下,让氢气独自向上顺管路进入氢气净化系统,经过净化合格后,再经过加压,进人还原工序再次使用。被吸收的氯化氢再经解析塔解析,与氯硅烷分离。分离出来的氯化氢可重新用于三氣氢硅生产。