超高超纯氢气发生器

派克的氢气发生器有多种型号和配置可供选择，从去离子水中产生高纯度和超高纯度的氢气。 这种氢气应用于各种载气，燃料电池，燃料气体，反应气体和气相色谱仪。

半导体工业中在晶体的生长与衬底的制备、氧化工艺外延工艺中以及化学气相淀积技术中,均要用到氢气。导体工业对气体纯度要求极高,微量杂质的“掺入”, 将会改变半导体的表面特性。

Parker Balston H2PEMPD超高纯度氢气发生器提供安全操作，可靠性，性能和低拥有成本的理想组合。

H2PEMPD氢气发生器采用经过现场验证的PEM电池技术，氢气可根据需要从去离子水和电力中生产。然后通过钯净化器模块除去氧气至<0.01ppm。新颖的控制软件允许远程监控和多个发电机的连接（级联），以满足大量氢气需求的应用。

该发生器的输出能力高达1,300 ml / min，纯度为99.99999 +％，压力高达11.9 bar，是GC和GC / MS载气（包括快速GC）和燃烧检测器应用的理想选择，氦气更具成本效益的替代品。

为实现连续运行，发电机标配自动进水。

特点与优势：

流量高达1,300毫升/分钟，压力高达11.9巴;超高纯度，99.99999 +％，是GC和GC / MS载气应用的理想氦气替代品;

3年标准电池保修;标准配置为自动进水连续运行;

氢气泄漏时自动关闭;更少的维护和操作员注意力