量程 0.5 SCCM - 6000 SLPM，优于 1% 的精度，测量范围广，优于 10 ms 响应时间
美国 ALICAT 20 系列标准型气体质量流量计，采用内部补偿型层流压差
技术，使得大流量范围下气体仍旧保持层流运动。内置的绝压和温度传
感器充分补偿因压力和温度引起的体积流量与质量流量间的差异，并对
用户标准工况进行修正。具有 NIST 可溯源校准证书。
可用于快速精确地测量过程气体的质量流量、体积流量、压力和温度，
适用于多种流量测控场合。
应用及案例
● 大学/研究所 ● 泄漏检测
● 环境监测 ● 真空行业及镀膜
● 工业炉窑 ● 半 导 体
● 汽车制造 ● 光 伏
● 燃料电池 ● 计量校准
● 过程工艺气体测量
产品特色
● 数字化产品
● 多参数显示和输出：温度、压力、流量等
● 可选高精度：优于0.5%读数
● 可测范围广，0.01~100%满量程
● 响应时间快，优于10 ms
● 内置98种气体
● 可现场标定混合气体（最多5种成分），并存储20种混合气
技术指标
介质要求 非腐蚀性、洁净、干燥的气体
介质种类 内置了98种气体，请参考背面
一台设备内置所有气体，用户可现场选择
量 程 从0 - 0.5 SCCM 到 0 - 6000 SLPM（详情请咨询）
测量范围 0.01～100%满量程
最大显示流量 128 % 满量程
显 示 屏 带背光灯按键，标准为LCD显示屏，可选TFT彩色显示屏
显示方式 同时显示质量流量、体积流量、压力、温度
精 度 ± （0.8 % 读数 + 0.2 % 满量程）精度升级部分见左下角
± （0.4 % 读数 + 0.2 % 满量程）（可选）
累计流量精度 流量精度之外增加± 0.5 %读数额外误差
重 复 性 ± （0.2 %读数+0.02 %满量程）
质量流量温度零点和满量程漂移 0.02%满量程/ ℃（从25℃开始）
质量流量压力零点和满量程漂移 ±（0.08 % 读数 + 0.02 % 满量程）/ Atm（从校准压力开始）
响应时间 优于10 ms （与流量相关）
预热时间 < 1 s
默认标况（STP） 25 ℃&1Atm（其它标况可调）
工作温度 -10 ～ 60 ℃（可选高温/低温选项）
温度精度 ± 0.75 ℃
工作湿度 0 ～ 95%，无冷凝
最大工作压力 1 MPa 表压（可选2 MPaG高压系列）
最低操作压力 如果不做真空特殊标定，建议在绝压80 KPa以上使用；
其他真空压力建议做特殊标定
压力精度 ± 0.5 % 读数（读数＞1 Atm），或 ± 0.07 PSIA（＜1Atm）
最大进出口压差 0.5MPa
满量程压损 参考详细压损表
数据刷新频率 数字信号40 Hz@ 19200波特率；
模拟信号：1000 Hz
屏幕刷新频率 10 Hz
数字输入/输出信号 RS232、RS485、Modbus RTU（RS232/RS485）、Modbus TCP/IP、
DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus
模拟输入/输出信号 0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA
可选第二路模拟输出 质量流量、体积流量、压力、温度
模拟信号精度 在基础误差上额外增加 ± 0.1 % 满量程误差
供电电压 9-24 VDC （如选4 - 20 mA或0-10VDC输出，须为12 - 24VDC）
供电电流 40mA，额外加 40 mA（ 4 - 20 mA或0-10VDC输出）
电气接口 DB9M，可选DB15、6针工业接头、8针Mini-DIN等
泄漏率（外漏） 选择HLC选项，泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He
材 质 302、303、304、316L不锈钢、FKM、硅橡胶、环氧树脂、聚酰胺、玻璃、硅、金、陶瓷
过程连接 详情参考压损表
安装方式 对位置无要求
防护等级 IP40
认 证 ISO 9001、NIST溯源认证、CE、RoHS、REACH、CSA （可选）
精度升级
量程为 0.5 SCCM - 6000 SLPM，
其中 10 SCCM - 20 SLPM 量程段，下述指标升级：
质量流量普通精度 ± 0.6% 读数或 ± 0.1% 满量程（取最大值）
质量流量高精度 ± 0.5% 读数或 ± 0.1% 满量程（取最大值）
重复性 ±（0.1% 读数 + 0.02% 满量程）
质量流量零点漂移 ± 0.01% 满量程 / ℃（从 25 ℃开始）
± 0.01% 满量程 / Atm（从校准压力开始）
质量流量量程漂移 ± 0.01% 读数 / ℃（从 25 ℃开始）
± 0.1 % 读数 / Atm（从校准压力开始）
选项配件
● 标准性能
多功能数字显示屏
显示多种测量参数：质量流量、体积流量、温度和压力
低压损
无需预热
Viton密封
8针mini-DIN电信号接口
标准圆形电源接口
RS-232多点式数字输出
0-5Vdc、0-10Vdc或1-5Vdc 多种模拟信号输出可选
内置30种气体可选
200:1量程可调比
NPT接头
可测量从0.5SCCM到3000SLPM的满量程的任何流量
有条件的终身质保
● 可选性能
高精度
累加器
6针、DB9或DB15电信号接口
ProfiBUS数字信号输出
RS-485数字信号输出
4-20mA模拟信号输出
第二种模拟信号输出
TFT背光彩色显示屏
远程显示屏
远程TFT背光彩色显示屏
丙烯酸绝缘涂层
EPDM密封
NeSSI本体
氧气清洁
用于高温环境的远程电子包装
SAE接头
VCR, VCO接头
5VDC、12VDC、24VDC排气量报警(过高或过低)
双向流动
额外标定点
定制混个气体（最多4种）
定制流量范围
尺寸详图
尺寸连接
满量程质量流量计 | 满量程压损1（psid） 排气到大气中 | 外观尺寸 | 连接接口2 |
0.5 sccm - 1 sccm | 1.0 | 3.9''H ×2.4''W ×1.1''D | M-5 （10-32）（内螺纹） （Buna-N表面密封至1/8''NPT内螺纹） |
2 sccm - 50 sccm | 1.0 | ||
100 sccm - 20 slpm | 1.0 | 4.1''H ×2.4''W ×1.1''D | 1/8''NPT内螺纹 |
50 slpm | 2.0 | 4.4''H ×4.0''W ×1.6''D | 1/4''NPT内螺纹 |
100 slpm | 2.5 | ||
250 slpm | 2.1 | 5.0''H ×4.0''W ×1.6''D | 1/2''NPT内螺纹 |
500 slpm | 4.0 | 5.0''H ×4.0''W ×1.6''D | 3/4''NPT内螺纹 （2000 SLPM 可选配1-1/4''NPT内螺纹） |
1000 slpm | 6.0 | ||
2000 slpm | 5.0 | 5.3''H ×5.2''W ×2.9''D | |
3000 slpm | 7.1 | 5.3''H ×5.2''W ×2.9''D | 1-1/4''NPT内螺纹 |
5000 slpm | 4.5 | 6.3''H ×5.6''W ×3.9''D | 1-1/2''NPT内螺纹 |
1、可选低压损选项 2、与Beswick®，Swagelok®管，Parker®，表面密封，快接接头和卡套转接头相兼容，也可以按照用户需求与VCR，SAE接头相兼容。 | |||
气体编码
* 混合气体编码为“800”，选项中须有具体混合气体比例说明。
* 对于液体流量计和控制器，液体指纯水，液体编码为“900”。
* ALICAT非抗腐蚀流量计/控制器产品，可支持①类气体。
* ALICAT抗腐蚀流量控制器产品，可支持①、②类气体。
* ALICAT抗腐蚀流量计产品，可支持①、②、③类气体。
* 未在表中列出的气体，也可能被测控，具体请咨询我们。
178 0012 6383